Silvaco社主催「SURGE2021」にてTCADを利用したプロセス開発事例報告
2021年11月2日(火)にEDAベンダーであるSilvaco社が主催する【SURGE Virtual Event Japan 2021】にてユーザー事例講演いたします。
「SURGE Virtual Event Japan 2021」
シルバコ社製のTCADソフトであるATLAS／ATHENAを利用して、コンピュータシュミレーションを利用した半導体プロセステクノロジ開発を併用することで、プロセス上の課題の抽出やフローの構築精度向上が可能になりました。
また評価TEG流動の大幅な削減と開発期間の短縮が実現できました。
実際のDMOSプロセス開発におけるTCADの活用事例について報告します。
