MEMS

MEMS

MEMSミラー

光スキャナー用MEMSミラー

mems_mirror

製品名

光スキャナー用MEMSミラー

概要

MEMS(※)技術を使った小型の光スキャナ用ミラーです。2次元に光をスキャンできますので、ディスプレイや計測など幅広くご活用いただけます。

※Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略でメムスと呼ばれています。電気と機械の機能を併せ持ったデバイスで、電気機能のみのLSIでは不可能だったことも可能にする魅力的な先端技術です。

特徴

・電磁駆動方式
・2軸MEMSミラー
・水平:共振駆動、垂直:非共振駆動(ラスタースキャン)
・広い光学振れ角
・長寿命/高信頼性
・低電圧駆動/低消費電力
・平坦なミラー面

主な用途

・HUD(ヘッドアップディスプレイ)
・ピコプロジェクター
・HMD(ヘッドマウントディスプレイ)
・3Dプリンター
・3DLiDAR etc
 ~光スキャナー用ミラーとしてディスプレイから産業用途まで幅広くご活用いただけます~

製品ラインナップ

2-axis Small 2-axis Small 2-axis Large
Mirror Size Φ1.1*1.2mm Φ1.1*1.2mm Φ3.6*4.0mm
PKG Size 13×7.1×7.6mm3 8×6×5mm3 24×18×8mm3
1-axis Operation Mode Linear Linear Linear
1-axis Resonance Frequency 800 Hz 690 Hz 350 Hz
1-axis Drive Frequency 1~76 Hz 1~66 Hz 1~33 Hz
1-axis Optical Deflection Angle ±8° ±15° ±16.5°
2-axis Operation Mode Resonant Resonant Resonant
2-axis Drive Frequency 30 kHz 27 kHz 1100Hz
2-axis Optical Deflection Angle ±22° ±27° ±33°
Target Wavelength 400-700nm 400-700nm 905nm
Reflectivity 90% 90% 93%
Status Discontinue Under Planning Under Planning
mems_mirror

※開発中の商品につき、仕様は予告なく変更する場合がございます。